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什么是MEMS?
 【发布时间:2012-5-31】 【信息来源:】 【点击次数:1355】 【字体: 】【打印文章
         MEMS是微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)的英文缩写。它是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。