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什么是MUMPs?
 【发布时间:2012-5-31】 【信息来源:】 【点击次数:1626】 【字体: 】【打印文章
    MUMPs(Multi  User  MEMS  Process)由美国伯克利感测与制动中心(BSAC:Berkeley  Sensor  and  Actuators  Center )于1990年所提出的微机电系统标准工艺流程,并且成为后来微机电系统代工产业的始祖,MUMPs可以制作出设计者所要求的大部分MEMS元件,MUMPs主要有七层结构,设计者所绘的设计图必须满足这个基本构造,才能顺利完成代工。